Wiemer, M., Herziger, K: Silizium-Waferbonden: Montageprozesse für Silizium- und Glasmaterialien in der Mikromechanik. (= DVS-Berlichte - Band 193).

Düsseldorf, DVS-Verlag, 1998.

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98 S. mit zahlreichen Abbildungen, 4°, Original-Karton (Softcover), gutes Exemplar,

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3871554995

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