Microelectronic devices based on ultra-shallow junctions and silicon-on-insulator materials. (=Acta Universitatis Upsaliensis / Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the Faculty of Science ; 352)

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S?derb?rg, Anders: Microelectronic devices based on ultra-shallow junctions and silicon-on-insulator materials. (=Acta Universitatis Upsaliensis / Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the Faculty of Science ; 352)

, Uppsala, 1991.

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ISBN: 9155428231

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Sachgebiete

S?derb?rg, Anders: Microelectronic devices based on ultra-shallow junctions and silicon-on-insulator materials. (=Acta Universitatis Upsaliensis / Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the Faculty of Science ; 352)

, Uppsala, 1991.